Китай нарешті винайшов технологію виробництва чипів: у Європі така була 15 років тому

Новий китайський літографічний сканер використовує довжину хвилі світла 193 нм і може друкувати чіпи з роздільною здатністю 65 нм. Така роздільна здатність була доступна клієнтам голландської компанії ASML ще 2009 року.

Міністерство промисловості та інформаційних технологій Китаю припускає, що держава відстає від США у виробництві мікросхем на 15 років. Йдеться, зокрема, про компанію ASML, пише ресурс WCCFTech.

У зв'язку з останніми санкціями з боку уряду Нідерландів, що вимагають від ASML отримання ліцензій перед продажем застарілих машин для виробництва чіпів на базі DUV, Китай розробив власний сканер DUV. У документі щодо впровадження керівних принципів сказано, що китайські вчені створили машину для літографії на основі фториду аргону з товщиною шару менше 8 нм. Цей літографічний сканер використовує довжину хвилі світла 193 нм і може друкувати чіпи з роздільною здатністю 65 нм. Така роздільна здатність була доступна клієнтам голландського гіганта ще 2009 року.

Якщо говорити про останнє портфоліо продуктів ASML, то найближчим аналогом є сканер TWINSCAN XT:1460K. Ця машина також має роздільну здатність нижче 65 нм і використовує джерело світла на основі фториду аргону довжиною 193 нм. Однак вона все одно більш просунута, ніж китайська машина, оскільки специфікація накладення становить менше 2,5 нм, що набагато перевершує 8-нанометрове накладення, заявлене китайським міністерством.

Оскільки виробництво напівпровідників передбачає маніпулювання світлом для друку найдрібніших схем на кремнієвій пластині, його якість і технічні параметри включають маніпулювання світлом. Роздільна здатність машини для виробництва чіпів визначається просто як мінімальний розмір елемента, який машина може надрукувати. Цей розмір залежить від безлічі інших чинників, з яких найважливішими є числова апертура машини, її глибина фокусування і розмір маски.

У цих випадках вища числова апертура зазвичай означає нижчу роздільну здатність, що дає змогу виробникам чипів зменшувати розміри чипів. Накладання машини — це її здатність наносити нові візерунки на наявні візерунки на пластині. Оскільки при виготовленні чіпів використовується маска для відбивання схемних малюнків для електропровідності, машини з меншими можливостями накладення кращі, оскільки вони дають змогу щільно упаковувати схеми.

ASML вперше презентувала свої машини для чіпів TWINSCAN у 2005 році. Відтоді фірма перейшла до імерсійних машин і нових інструментів EUV, які поступово стають основою галузі. Її сканер TWINSCAN:XT 1460, який є найближчим наближенням до доступної наразі машини TWINSCAN:XT:1460K, уперше з'явився в річному звіті фірми за 2015 рік з роздільною здатністю 65 нм і довжиною хвилі світла 193 нм.

Машини для виробництва чіпів стали цінним товаром для КНР, оскільки новітнє обладнання виробляється тільки компанією ASML. При цьому місцеве китайське обладнання може допомогти країні знизити залежність від західної продукції. Це важливо для розвитку в стратегічній галузі в епоху, коли програмне забезпечення штучного інтелекту вимагає новітніх напівпровідників для максимальної продуктивності.

Щодо документа, там викладено три ключові деталі новітньої китайської літографічної машини DUV: роздільна здатність, довжина хвилі та накладення. Сканер являє собою машину на основі фториду аргону, яку використовують у світовій напівпровідниковій промисловості вже близько двох десятиліть.

Источник: focus.ua