...
К концу 2023 года компания Intel рассчитывает получить литографический сканер ASML TWINSCAN NXE:5000, который будет использоваться для экспериментов с высокой числовой апертурой, но в массовом производстве будут использоваться уже сканеры поколения TWINSCAN NXE:5200, которые поступят не ранее 2025 года.